四甲基氢氧化铵,五水通常也叫五水合四甲基氢氧化铵，五水四甲基氢氧化铵，或者四甲基氢氧化铵。其化学式为(CH3)4NOH·5H2O，分子量是181.23，CAS号10424-65-4。极易吸潮，有一定的氨气味，具有强碱性，在空气中能迅速吸收二氧化碳，通常制10%、25%的水溶液，含5分子结晶水的四甲基氢氧化铵为无色潮解性针状结晶，加热到沸点130℃时易分解成三甲胺和甲醇，比重1.00左右。需密封干燥保存。

五水合四甲基氢氧化铵用作硅橡胶、甲基硅油助剂和极谱分析试剂等。在有机硅方面，作为二甲基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在分析方面，作为极谱试剂，在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素，在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。四甲基氢氧化铵作为催化剂，其优点是，反应完后加热升温，可使之分解为气体而赶走不残留在产品中。在使用时皮肤/眼睛接触，用大量的水冲洗。如有不适感，就医。 不慎吸入，用水漱口，如果停止了呼吸，给予人工呼吸，如有不适感，就医。

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